Cn

IPH半导体中度严苛系列

用途：

Etch,  Implant,  HDP-CVD,  SACVD,  MOCVD,   PECVD,   LPCVD,    ALD


特点：


IPH系列螺杆真空泵能够在广泛的应用领域提供优良的性能，，，，适用于严苛制程。。。。

它优良的性能源自于转子排气路径和优越的转子型线设计。。。

中安智通独特型线设计，，上海，，台湾，，，制造。。。。

较之前的版本节能25%，，，配置有省电模式。。

带有加热系统避免制程物沉积。。。

优化的尺寸，，，即插即用。。


规格型号
产品样本和技术手册

1609394304(1).jpg

产品样本和技术手册

产品外观图

名称

发布时间

下载

站点地图